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KAKEN_24246029seika  
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タイトル
タイトル 電気粘着効果を発現する機能性表面の開発と極限環境保持機構への応用  
カナ デンキ ネンチャク コウカ オ ハツゲンスル キノウセイ ヒョウメン ノ カイハツ ト キョクゲン カンキョウ ホジ キコウ エノ オウヨウ  
ローマ字 Denki nenchaku koka o hatsugensuru kinosei hyomen no kaihatsu to kyokugen kankyo hoji kiko eno oyo  
別タイトル
名前 Development of functional surface with electro-adhesive effect and the application to fixture element in vacuum and high-temperature environment  
カナ  
ローマ字  
著者
名前 青山, 藤詞郎  
カナ アオヤマ, トウジロウ  
ローマ字 Aoyama, Tojiro  
所属 慶應義塾大学・理工学部・教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team head  
外部リンク 科研費研究者番号 : 70129302

名前 柿沼, 康弘  
カナ カキヌマ, ヤスヒロ  
ローマ字 Kakinuma, Yasuhiro  
所属 慶應義塾大学・理工学部・准教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号 : 70407146
Publisher  
出版地
 
出版者
名前  
カナ  
ローマ字  
日付
出版年(from:yyyy) 2016  
出版年(to:yyyy)  
作成日(yyyy-mm-dd)  
更新日(yyyy-mm-dd)  
記録日(yyyy-mm-dd)  
形態
1 pdf  
上位タイトル
名前 科学研究費補助金研究成果報告書  
翻訳  
 
 
2015  
 
開始ページ  
終了ページ  
ISSN
 
ISBN
 
DOI
URI
 
JaLCDOI
NII論文ID
 
医中誌ID
 
その他ID
 
博士論文情報
学位授与番号  
学位授与年月日  
学位名  
学位授与機関  
抄録
半導体製造プロセスにおける真空・高温環境下のウェハ保持のための高速着脱可能な固定機構の実現を目的として, 微細構造を応用した電気粘着表面の開発を試みた。三次元マイクロメッシュ構造にエラストマを含浸させることで, 電界印加に応じて規則的な粘着スポットが生じ, 対象物を固定可能な電気粘着表面(EAS)の開発に成功した。片側電極構造を適用したEASは, Siウェハを電気粘着効果により保持することが可能で, 高真空環境下でも機能することを明らかにした。また, 高温環境下で印加電場に応じた保持力が高まることが実験的に示され, 真空・高温プロセスのウェハ保持機構として応用可能性が高いことを確認した。
For a fixture device of wafer in semiconductor process under vacuum and hightemperature condition, we worked on development of a functional electro-adhesive surface with micro texture in this study. By impregnating three dimensional micro-mesh structure with an adhesive elastomer, an electro-adhesive surface (EAS) regularly generating numerous adhesive spots on the surface according to applied electric field was successfully developed. From the experiment, it is clear that EAS with one-sided patterned electrodes is able to fix a Si wafer with electro-adhesive effect and works in high-vacuum environment. In addition, the performance of EAS is enhanced at high temperature up to 150 degree Celsius. These results represents high applicability of EAS to a fixture device in high-vacuum and high-temperature process.
 
目次

 
キーワード
機能性表目  

機能性材料  

トライボロジー  
NDC
 
注記
研究種目 : 基盤研究(A)(一般)
研究期間 : 2012~2015
課題番号 : 24246029
研究分野 : 生産工学
 
言語
日本語  

英語  
資源タイプ
text  
ジャンル
Research Paper  
著者版フラグ
 
本文URI
 
アクセス条件

 
最終更新日
Dec 27, 2016 11:18:19  
作成日
Dec 27, 2016 11:18:19  
所有者
mediacenter
 
更新履歴
 
インデックス
/ Public / 科学研究費補助金研究成果報告書 / 2015年度 / 日本学術振興会
 
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