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KAKEN_18360027seika  
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本文公開日
 
タイトル
タイトル シリコンナノ構造酸化の窒素添加による制御  
カナ シリコン ナノ コウゾウ サンカ ノ チッソ テンカ ニ ヨル セイギョ  
ローマ字 shirikon nano kozo sanka no chisso tenka ni yoru seigyo  
別タイトル
名前 Control of Silicon Nanostructure Oxidation by Nitrogen Doping  
カナ  
ローマ字  
著者
名前 植松, 真司  
カナ ウエマツ, マサシ  
ローマ字 UEMATSU, MASASHI  
所属 慶應義塾大学・大学院理工学研究科・教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team head  
外部リンク 科研費研究者番号:60393758

名前 影島, 博之  
カナ カゲシマ, ヒロユキ  
ローマ字 KAGESHIMA, HIROYUKI  
所属 日本電信電話株式会社・NTT物性科学基礎研究所・量子電子物性研究部・主任研究員  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号:70374072

名前 渡邉, 孝信  
カナ ワタナベ, タカノブ  
ローマ字 WATANABE, TAKANOBU  
所属 早稲田大学・理工学術院・准教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号:00367153

名前 白石, 賢二  
カナ シライシ, ケンジ  
ローマ字 SHIRAISHI, KENJI  
所属 筑波大学・数理物質科学研究科・教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号:20334039

名前 伊藤, 公平  
カナ イトウ, コウヘイ  
ローマ字 ITO, KOHEI  
所属 慶應義塾大学・理工学部・教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号:30276414

名前 秋山, 亨  
カナ アキヤマ, トオル  
ローマ字 AKIYAMA, TORU  
所属 三重大学・工学部・助教  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号:40362363
 
出版地
 
出版者
名前  
カナ  
ローマ字  
日付
出版年(from:yyyy) 2009  
出版年(to:yyyy)  
作成日(yyyy-mm-dd)  
更新日(yyyy-mm-dd)  
記録日(yyyy-mm-dd)  
形態
1 pdf  
上位タイトル
名前 科学研究費補助金研究成果報告書  
翻訳  
 
 
2008  
 
開始ページ  
終了ページ  
ISSN
 
ISBN
 
DOI
URI
JaLCDOI
NII論文ID
 
医中誌ID
 
その他ID
 
博士論文情報
学位授与番号  
学位授与年月日  
学位名  
学位授与機関  
抄録
シリコンナノ構造の酸化において、酸化膜に窒素を添加することにより、酸化形状の制御、および、酸化誘起歪・応力を変調できることを明らかにした。酸化膜への窒素添加の効果を原子レベル理論計算、マクロレベルシミュレーション計算で予測し、ナノ構造酸窒化実験を行った。窒素をシリコン・酸化膜界面へ局所的に導入することにより酸化膜の粘性が増加し、シリコン内部に生じる歪・応力が大きくなることを明らかにした。これにより窒素添加が単電子トランジスタの室温動作実現に有効であることを示した。
 
目次

 
キーワード
表面・界面物性  

マイクロ・ナノデバイス  

計算物理  

シリコン酸窒化  

自己拡散  
NDC
 
注記
研究種目:基盤研究(B)

研究期間:2006~2008

課題番号:18360027

研究分野:工学

科研費の分科・細目:応用物理学・工学基礎、薄膜・表面界面物性
 
言語
日本語  
資源タイプ
text  
ジャンル
Research Paper  
著者版フラグ
publisher  
関連DOI
アクセス条件

 
最終更新日
Dec 07, 2011 14:01:00  
作成日
Dec 24, 2009 09:00:00  
所有者
mediacenter
 
更新履歴
Dec 7, 2011    コメント, フリーキーワード, キーワード を変更
Dec 7, 2011    フリーキーワード, キーワード を変更
 
インデックス
/ Public / 科学研究費補助金研究成果報告書 / 2008年度 / 日本学術振興会
 
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