| Item Type |
Article |
| ID |
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| Caption |
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| Full text |
KAKEN_21360066seika.pdf
| Type |
:application/pdf |
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| Last updated |
:Oct 17, 2012 |
| Downloads |
: 3051 |
Total downloads since Oct 17, 2012 : 3051
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| Release Date |
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| Title |
| Title |
ＥＲゲル保持機構を利用した半導体製造工程におけるウェハの真空中高速搬送技術の開発
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| Kana |
ERゲル ホジ キコウ オ リヨウシタ ハンドウタイ セイゾウ コウテイ ニ オケル ウェハ ノ シンクウチュウ コウソク ハンソウ ギジュツ ノ カイハツ
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| Romanization |
ERgeru hoji kiko o riyoshita handotai seizo kotei ni okeru weha no shinkuchu kosoku hanso gijutsu no kaihatsu
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| Other Title |
| Title |
Development of high-speed transportation technology of wafer in vacuum process applying the ERG chuck
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| Kana |
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| Romanization |
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| Creator |
| Name |
青山, 藤詞郎
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| Kana |
アオヤマ, トジロウ
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| Romanization |
Aoyama, Tojiro
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| Affiliation |
慶應義塾大学・理工学部・教授
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team head
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| Link |
科研費研究者番号 : 70129302
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| Name |
柿沼, 康弘
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| Kana |
カキヌマ, ヤスヒロ
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| Romanization |
Kakinuma, Yasuhiro
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| Affiliation |
慶應義塾大学・理工学部・准教授
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team member
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| Link |
科研費研究者番号 : 70407146
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| Edition |
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| Place |
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| Publisher |
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| Date |
| Issued (from:yyyy) |
2012
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| Issued (to:yyyy) |
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| Created (yyyy-mm-dd) |
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| Updated (yyyy-mm-dd) |
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| Captured (yyyy-mm-dd) |
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| Physical description |
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| Source Title |
| Name |
科学研究費補助金研究成果報告書
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| Name (Translated) |
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| Volume |
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| Issue |
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| Year |
2011
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| Month |
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| Start page |
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| End page |
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| ISSN |
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| ISBN |
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| DOI |
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| URI |
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| JaLCDOI |
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| NII Article ID |
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| Ichushi ID |
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| Other ID |
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| Doctoral dissertation |
| Dissertation Number |
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| Date of granted |
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| Degree name |
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| Degree grantor |
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| Abstract |
電気で粘着性が変化するERゲル(Electro-rheological Gel,ERG)を真空中で使用可能なウェハ固定装置へ応用し, 半導体製造プロセスの高速・高精度化を試みた. 真空対応型ERゲルの開発に成功し, 真空プロセスにおけるウェハの高速搬送を実現する電気粘着保持機構に応用展開した. Siウェハ高速搬送実験の結果, 開発した電気粘着保持機構を備えたエンドエフェクタは, 着脱の電気的応答性も高く, 0.5Gの搬送加速度でもウェハの位置ずれを生じることなく搬送できることを確認した.
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| Table of contents |
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| Keyword |
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| NDC |
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| Note |
研究種目 : 基盤研究(B)
研究期間 : 2009～2011
課題番号 : 21360066
研究分野 : 工学
科研費の分科・細目 : 機械工学・生産工学・加工学
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| Language |
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| Type of resource |
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| Genre |
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| Text version |
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| Related DOI |
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| Access conditions |
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| Last modified date |
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| Creation date |
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| Registerd by |
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| History |
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| Index |
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| Related to |
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