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KAKEN_18K18802seika  
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タイトル
タイトル 紫外線硬化材料の屈折率変化を利用した3次元MEMSフォトリソグラフィ  
カナ シガイセン コウカ ザイリョウ ノ クッセツリツ ヘンカ オ リヨウシタ 3ジゲン MEMS フォトリソグラフィ  
ローマ字 Shigaisen kōka zairyō no kussetsuritsu henka o riyōshita 3jigen MEMS fotorisogurafi  
別タイトル
名前 3D MEMS photolithography using difference in refractive index of UV curable material  
カナ  
ローマ字  
著者
名前 高橋, 英俊  
カナ タカハシ, ヒデトシ  
ローマ字 Takahashi, Hidetoshi  
所属 慶應義塾大学・理工学部 (矢上) ・講師  
所属(翻訳)  
役割 Research team head  
外部リンク 科研費研究者番号 : 90625485

名前 江島, 広貴  
カナ エジマ, ヒロタカ  
ローマ字 Ejima, Hirotaka  
所属 東京大学・大学院工学系研究科 (工学部) ・准教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号 : 00724543

名前 菅, 哲朗  
カナ カン, テツオ  
ローマ字 Kan, Tetsuo  
所属 電気通信大学・大学院情報理工学研究科・准教授  
所属(翻訳)  
役割 Research team member  
外部リンク 科研費研究者番号 : 30504815

名前  
カナ  
ローマ字  
所属  
所属(翻訳)  
役割  
外部リンク  
Publisher  
出版地
 
出版者
名前  
カナ  
ローマ字  
日付
出版年(from:yyyy) 2020  
出版年(to:yyyy)  
作成日(yyyy-mm-dd)  
更新日(yyyy-mm-dd)  
記録日(yyyy-mm-dd)  
形態
1 pdf  
上位タイトル
名前 科学研究費補助金研究成果報告書  
翻訳  
 
 
2019  
 
開始ページ  
終了ページ  
ISSN
 
ISBN
 
DOI
URI
 
JaLCDOI
NII論文ID
 
医中誌ID
 
その他ID
 
博士論文情報
学位授与番号  
学位授与年月日  
学位名  
学位授与機関  
抄録
本研究ではMicroElectroMechanical Systems (MEMS) の基本プロセスの1つであるフォトリソグラフィにおいて、紫外線硬化材料の硬化前後の屈折率の変化を利用した3次元微細構造を製作する方法論の確立を目指した。作製においては、紫外線硬化材料で生体適合性のあるPolyethylene Glycol Diacrylate (PEGDA) を用いた。屈折率の変化によって、照射される紫外線は材料の中を直進せず屈折し、3次元的な構造が製作される。マイクロニードルやマイクロ吸盤などの機能的な3次元微細構造の設計・製作を理論及び実験の両面から研究を遂行した。
In this research, we developed a fabrication method of a three-dimensional (3D) microstructure via photolithography, which is one of the basic Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) processes. We realized such 3D photolithography based on refractive-indices changes of UV curable material during photo-polymerization. When such material is used, UV light ray receives refraction effect during exposure, thus changes the light path and forms 3D photo-polymerized structure. Polyethylene Glycol Diacrylate (PEGDA), which is one of the common UV curable and biocompatible materials, was used in the fabrication process. We demonstrated the 3D lithography by fabricating PEGDA microneedle array, micro suction cup array, and so on.
 
目次

 
キーワード
MEMS  

フォトリソグラフィ  

3次元構造  
NDC
 
注記
研究種目 : 挑戦的研究 (萌芽)
研究期間 : 2018~2019
課題番号 : 18K18802
研究分野 : 機械工学
 
言語
日本語  

英語  
資源タイプ
text  
ジャンル
Research Paper  
著者版フラグ
 
本文URI
 
アクセス条件

 
最終更新日
Mar 05, 2021 13:26:39  
作成日
Mar 05, 2021 13:26:39  
所有者
mediacenter
 
更新履歴
Mar 5, 2021    インデックス を変更
 
インデックス
/ Public / 科学研究費補助金研究成果報告書 / 2019年度 / 日本学術振興会
 
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