| Item Type |
Article |
| ID |
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| Caption |
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| Full text |
KAKEN_18360027seika.pdf
| Type |
:application/pdf |
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| Last updated |
:Dec 26, 2009 |
| Downloads |
: 1607 |
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| Release Date |
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| Title |
| Title |
シリコンナノ構造酸化の窒素添加による制御
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| Kana |
シリコン ナノ コウゾウ サンカ ノ チッソ テンカ ニ ヨル セイギョ
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| Romanization |
shirikon nano kozo sanka no chisso tenka ni yoru seigyo
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| Other Title |
| Title |
Control of Silicon Nanostructure Oxidation by Nitrogen Doping
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| Kana |
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| Romanization |
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| Creator |
| Name |
植松, 真司
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| Kana |
ウエマツ, マサシ
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| Romanization |
UEMATSU, MASASHI
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| Affiliation |
慶應義塾大学・大学院理工学研究科・教授
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team head
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| Link |
科研費研究者番号：60393758
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| Name |
影島, 博之
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| Kana |
カゲシマ, ヒロユキ
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| Romanization |
KAGESHIMA, HIROYUKI
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| Affiliation |
日本電信電話株式会社・NTT物性科学基礎研究所・量子電子物性研究部・主任研究員
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team member
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| Link |
科研費研究者番号：70374072
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| Name |
渡邉, 孝信
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| Kana |
ワタナベ, タカノブ
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| Romanization |
WATANABE, TAKANOBU
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| Affiliation |
早稲田大学・理工学術院・准教授
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team member
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| Link |
科研費研究者番号：00367153
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| Name |
白石, 賢二
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| Kana |
シライシ, ケンジ
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| Romanization |
SHIRAISHI, KENJI
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| Affiliation |
筑波大学・数理物質科学研究科・教授
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team member
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| Link |
科研費研究者番号：20334039
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| Name |
伊藤, 公平
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| Kana |
イトウ, コウヘイ
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| Romanization |
ITO, KOHEI
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| Affiliation |
慶應義塾大学・理工学部・教授
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team member
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| Link |
科研費研究者番号：30276414
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| Name |
秋山, 亨
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| Kana |
アキヤマ, トオル
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| Romanization |
AKIYAMA, TORU
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| Affiliation |
三重大学・工学部・助教
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| Affiliation (Translated) |
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| Role |
Research team member
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| Link |
科研費研究者番号：40362363
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| Edition |
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| Place |
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| Publisher |
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| Date |
| Issued (from:yyyy) |
2009
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| Issued (to:yyyy) |
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| Created (yyyy-mm-dd) |
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| Updated (yyyy-mm-dd) |
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| Captured (yyyy-mm-dd) |
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| Physical description |
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| Source Title |
| Name |
科学研究費補助金研究成果報告書
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| Name (Translated) |
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| Volume |
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| Issue |
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| Year |
2008
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| Month |
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| Start page |
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| End page |
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| ISSN |
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| ISBN |
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| DOI |
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| URI |
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| JaLCDOI |
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| NII Article ID |
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| Ichushi ID |
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| Other ID |
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| Doctoral dissertation |
| Dissertation Number |
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| Date of granted |
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| Degree name |
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| Degree grantor |
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| Abstract |
シリコンナノ構造の酸化において、酸化膜に窒素を添加することにより、酸化形状の制御、および、酸化誘起歪・応力を変調できることを明らかにした。酸化膜への窒素添加の効果を原子レベル理論計算、マクロレベルシミュレーション計算で予測し、ナノ構造酸窒化実験を行った。窒素をシリコン・酸化膜界面へ局所的に導入することにより酸化膜の粘性が増加し、シリコン内部に生じる歪・応力が大きくなることを明らかにした。これにより窒素添加が単電子トランジスタの室温動作実現に有効であることを示した。
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| Table of contents |
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| Keyword |
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| NDC |
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| Note |
研究種目：基盤研究(B)
研究期間：2006～2008
課題番号：18360027
研究分野：工学
科研費の分科・細目：応用物理学・工学基礎、薄膜・表面界面物性
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| Language |
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| Type of resource |
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| Genre |
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| Text version |
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| Related DOI |
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| Access conditions |
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| Last modified date |
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| Creation date |
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| Registerd by |
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| History |
| Dec 7, 2011 | | コメント, フリーキーワード, キーワード を変更 |
| Dec 7, 2011 | | フリーキーワード, キーワード を変更 |
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| Index |
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