マイクロ・ナノ基盤要素技術のシステム統合化を目指して、マイクロ・ナノ熱流体複合センシング技術および熱流動界面制御デバイスの開発研究を行った。ポリマー組成・物性に基づいた気体高透過性ポリマーの開発、ナノ・マイクロ切削加工技術の開発、そしてマイクロ・コンタクトプリント法の開発により、異相界面熱流動制御デバイスを実現した。更に高速度共焦点スキャナによるマイクロ多変量時空間分布計測法、そして異相界面へのエバネッセント波照射によるナノ多変量時空間分布計測法を統合化し、異相界面における気体の溶解や透過現象、および異相界面電位形成メカニズムの解明を行い、界面熱流動制御技術の確立を行った。
This research work focused on the development of micro/nanoscale thermofluid multiple sensing techniques in order to integrate the element of micro/nano-technologies into interface-control led devices. The novel devices, which can control thermofluid phenomena at/near interface between different phases, were proposed based upon the development of (i) polymers that has high gas permeability, (ii) cryogenic ultra precision machining of polymers and (iii) micro contact printing. Spatial and temporal distributions of velocity and scalar quantities, and zeta-potential were obtained by micro-PIV/LIF using a confocal scanner and nano-PIV/LIF using evanescent wave illumination, respectively. The new sensing techniques were applied to the proposed devices for the investigations of gas dissolution and permeability by the interface between different phases, formation mechanism of interfacial electrostatic potential and an influence of nanoscale roughness of solid surface on electroosmotic flow.

研究種目 : 基盤研究(S)
研究期間 : 2009～2013
課題番号 : 21226006
研究分野 : 工学
科研費の分科・細目 : 機械工学・熱工学