本研究では, ナノカーボン材料をテンプレートとした新しい微細加工技術・結晶成長技術を新たに提案し, 材料系を問わず, 10nm級の一次元構造を実現する新しい手法を構築した。窒化ニオブによる超伝導ナノワイヤーの作製した結果, 量子位相スリップ, 熱位相スリップの観測やそのメカニズムを明らかにした。また, カーボンナノチューブへのアルミナの成長も行い, アルミナ成長による発光特性制御に成功した。
In this study, we established novel microfabrication technique and low dimensional crystal growth technique by using templates of nanocarbon materials, and we fabricated one-dimensional nanowires with ~10-nm thickness. We fabricated NbN superconducting nanowires. We observed size effects of superconductors, such as quantum phase slip and thermal phase slip, and we found their mechanisms by using very thin nanowires. We also grew aluminum-oxide nanowires on carbon nanotube templates, and observed the change of photoluminescence spectra by their growth.

研究種目 : 挑戦的萌芽研究
研究期間 : 2016～2017
課題番号 : 16K13677
研究分野 : 半導体工学, ナノサイエンス, ナノカーボン材料, デバイス開発